臭氧是一种广谱性、高效率的除菌消毒剂。臭氧比氧原子具备大量的活力氧分子臭氧。它是氧化剂，在一定浓度值下快速杀死空气中的病原菌。无有害残留物，无二次污染。以气体和氧气为原材料，高频高压充放电引起臭氧。
根据供氧塔的变压吸附的，将空气中的氧气和N2在常温和工作压力下分离出来，造成高纯的氧气，氧气纯净度可以达到90%，随后这种氧气根据电弧放电法进到臭氧发生器造成臭氧，这类臭氧汽体与水混和后产生臭氧水，具备除菌消毒等各种作用。
影响臭氧发生器消毒实际效果的要素许多，在其中主要是：
1.臭氧匀称性：在消毒室内空间内，务必保证全部角落里和缝隙中的臭氧浓度做到消毒规范，不然消毒实际效果依然很差。因此，在整体规划消毒计划时，必须认真考虑生产现场结构、臭氧加方式、臭氧发生器的作用等因素。
2.臭氧使用量:室内空间消毒是指臭氧的总数不能超过指标值，室内空间内臭氧浓度不能满足必要的规格型号，消毒的实际效果一定会受到损害。在臭氧用量的计算中，必须在物流运输全过程中考虑到臭氧耗费、窗门泄露等引发要素。
3.消毒時间：臭氧消毒杀菌虽在一瞬间进行，但臭氧浓度须在一定时间段内堆积在室内空间，如无消毒時间，亦会危害消毒实际效果，一般规定臭氧发生器在30分钟至一小时内关掉窗门。
